Probe pegas adalah alat pendeteksi khusus yang digunakan untuk mendeteksi perubahan topografi permukaan objek sebelum dan sesudah pemuatan. Ini terdiri dari kepala pegas dan dudukan sampel, kepala pegas dapat bergerak sesuai dengan gaya yang ditetapkan dan menempel pada permukaan, dan dudukan sampel dipasang pada chuck dengan menjepit sampel.
Keuntungan dari probe pegas adalah dapat digerakkan dengan gaya rendah, memungkinkan pengukuran yang tepat dan perbandingan gambar kelengkungan permukaan spesimen tanpa memuat spesimen, bahkan jika posisi gripper tidak bervariasi. Pada saat yang sama, ia memiliki deteksi detail yang seragam dan dapat mengukur hampir semua jenis sampel tanpa dibatasi oleh ukuran dan topografi permukaan.
Selain itu, probe pegas harus dapat mengontrol collet dan frekuensi pengukuran secara akurat untuk memastikan keakuratan pengukuran. Selain itu, karena kondisi pemuatan sampel akan memengaruhi kecepatan pantulan pegas, probe harus menyesuaikan torsi pengukuran sesuai dengan jenis sampel yang sesuai untuk memastikan keakuratan hasil pengukuran dan mendapatkan informasi topografi permukaan yang akurat.
Selain itu, untuk memastikan keandalan probe pegas dalam jangka panjang, perlu juga memperhatikan kemungkinan masalah keausan dan penuaan, dan sebagai tambahan, detail seperti deformasi harus diperiksa dan dipelihara secara teratur.
